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卧式低压化学气相沉积炉管

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  • 公司名称北京华测试验仪器有限公司
  • 品       牌
  • 型       号SVCS
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/7/17 21:08:14
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北京华测试验仪器有限公司成立于2012年,是一家专注于新材料检测领域,集研发、生产和销售为一体企业。公司以严格的质量标准贯穿于产品的研发、生产、销售、管理和服务。公司产品广泛应用于国内二十多个省、市、自治区,主要致立于材料检测仪器开发、检测、自动化设备等服务。企业经营理念:华测仪器核心科技用心打造安全可靠企业服务宗旨:用服务感动客户!北京华测试验仪器有限公司成立于2012年,是一家专注于新材料检测领域,集研发、生产和销售为一体企业。公司以严格的质量标准贯穿于产品的研发、生产、销售、管理和服务。公司产品广泛应用于国内二十多个省、市、自治区,主要致立于材料检测仪器开发、检测、自动化设备等服务。企业经营理念:华测仪器核心科技用心打造安全可靠企业服务宗旨:用服务感动客户!我们真诚欢迎各大院校、科研院所、工矿企业、质检单位、洽谈、合作!1.服务宗旨全心全意为客户提供各种上等的服务,以高素质的服务队伍,对客户实施**的照顾,成为仪器行业服务的表率,为仪器发展作出贡献。2.服务目标一切以客户为中心,为客户提供上等、**的服务,保证客户满意是我们的基本目标,让每一台设备正常工作,***客户满意度我们的高目标。3.服务方式为客户提供灵活多样的服务及**的解决方案,并通过有偿服务方式增加服务自我增值机制,提高服务质量,同时寻求服务内容和服务方式的改进,使双方从中获得佳效益。4.服务标准以客户满意作为衡量服务质量的标准。5、公司组织公司下属华测仪器公司、华测检测技术有限公司、天津华测自动化技术有限公司我们愿与您一起发展,共谋未来。我们——将是您好的合作伙伴!
卧式低压化学气相沉积炉管卧式低压化学气相沉积炉管用于沉积高品质的n型掺杂或非掺杂的多晶硅或非晶硅;用于沉积高品质的低应力氮化硅或氮氧化硅。
卧式低压化学气相沉积炉管 产品信息

卧式低压化学气相沉积炉管






产品简介

用于沉积高品质的n型掺杂或非掺杂的多晶硅或非晶硅;用于沉积高品质的低应力氮化硅或氮氧化硅。


主要技术指标

    炉管1:N型多晶硅以及非晶硅薄膜沉积工艺

气体:高纯N2、SiH4、PH3

    炉管2:低应力氮化硅,氮氧化硅薄膜

气体:高纯N2、NH3、N2O、SiH2Cl2

    温度:700-900 °C

    硅片尺寸:3英寸、4英寸、6英寸圆片;50片/炉


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