检测仪是采用了安定的氧化锆陶瓷的材料探头，本探头和控制检测仪组合使用能够作为氧气计量仪来使用
特点
采样困难的小型密封容器或真空炉都能插入直接使用
1*10-3Pa （1*10-5Torr）减压情况下也能测定氧气
能够任意安装ICF法兰、NW法兰
规格
| 安装方式 | 垂直、水平皆可安装VG25法兰 |
| 标准入气口 | SUS TP O.D.1/4（O-ring fitting） |
| 测量范围 | 1ppm～100%O21～1×10-30atm O2 |
| 直线性 | ±1%FS以内或者±1ppm （两者取较大者） |
| 在线性 | ±1%FS以内或者±1ppm （两者取较大者） |
| 反应时间 | 90%应答:大约10秒以内（由低浓度到高浓度） |
| 偏差 | ±2%FS以内/周 |
| 取样方式 | 扩散 |
| 取样温度 | zui高300℃ |
| 取样压力 | 2atm～ 1×10^-3Pa （1×10^-5Torr） |
| 暖机时间 | 大约20分钟 |
| 组合 | 法兰的种类尺寸变化标准气体的线阀皆可灵活安装 |
