光氧废气处理设备废气源集气罩(搜集车间各个废气源的废气，接入主管道)喷淋吸收塔(吸收掉能溶于水的无机废气、粉尘以及颗粒物，降低废气温度，为等离子提供优良的运行环境)一级低温等离子处理设备(破坏废气分子结构，转化为无污染物质)高压风机(高压的吸力作用下将风抽出车间)净化吸收塔(进一步吸收粉尘以及颗粒物以及一些无机气体，水洗小分子碎片，利于检测达标)烟囱高空排放(也可低空排放)。
废气经阻火器过滤后，通过主进阀、旁通阀的同步反向切换调节进入热交换器，热交换器的热气升高一定温度后进入预热室、经过预热室的加热使废气升温到催化起燃温度（250度）然后进入催化反应床，在催化剂的活性作用下，有机废气进行氧化反应生成无害的水和二氧化碳，并放出一定的热量。反应后的高温气体再次进入热交换器，经换热后，后以较低的温度经引风机排入大气。催化燃烧是借助催化剂在低温下（200－400度）实现对有机物的*氧化，因此，操作简单、安全、净化效率高，在有机废气特别是回收价值大的有机废气净化等领域应用广泛。
光氧废气处理设备
特点：
① 不需要高成本的化学药剂，运行稳定，耐腐蚀，耐负荷冲击能力大。
② 针对特定有害气体成份驯化适当的微生物，提高单位容积的负荷率。
③ 填料采用有机无机混合填料，比表面积大，孔隙率高，并可为微生物
提供营养，可支撑大量不同种群微生物群。
④ 填料活性介质的损失小、可减少能耗，降低运行费用。
⑤ 采用强化自然生物降解污染物，无二次污染物产生。
⑥ VOC去除率高，对H2S的去除率可达99%。
⑦ PLC控制系统自动运行，无需人员管理。
光催化是常温深度反应技术。光催化氧化可在室温下将水、空气和土壤中有机污染物*氧化成无毒无害的产物，而传统的高温焚烧等离子体就是处于电离状态的气体，等离子体由大量的子、中性原子、激发态原子、光子和自由基等组成，但电子和正离子的电荷数必须体表现出电中性，这就是“等离子体”的含义。等离子体具有导电和受电磁影响的许多方面与固体、液体和气体不同，因此又有人把它称为物质的第四种状态。根据状态、温度和离子密度，等离子体通常可以分为高温等离子体和低温等离子体（包子体和冷等离子体）。其中高温等离子体的电离度接近1，各种粒子温度几乎相同系处于热力学平衡状态，它主要应用在受控热核反应研究方面。而低温等离子体则学非平衡状态，各种粒子温度并不相同。其中电子温度( Te)≥离子温度(Ti)，可达104K以上，而其离子和中性粒子的温度却可低到300～500K。一般气体放电子体属于低温等离子体。
