主要技术参数。
1. 加热方式:中频感应加热;
2. 工作温度:2500℃长期运行;
3. 仪表控温精度:0.3级;
4. 坩埚尺寸:定制;
5. 具有升温速率调节功能;
6. 极限真空度:优于8×10-4Pa(冷态、空载);
7. 真空排气机组采用水冷匹配自然泄水方式;
8. 设备的漏率:低于6.0×10-6Pa·m3/s;
9.设备总功率:约50-120KW;
主要技术参数。
1. 加热方式:中频感应加热;
2. 工作温度:2500℃长期运行;
3. 仪表控温精度:0.3级;
4. 坩埚尺寸:定制;
5. 具有升温速率调节功能;
6. 极限真空度:优于8×10-4Pa(冷态、空载);
7. 真空排气机组采用水冷匹配自然泄水方式;
8. 设备的漏率:低于6.0×10-6Pa·m3/s;
9.设备总功率:约50-120KW;
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