AZ管式炉有8个控温区,在整个加热长度内获得所需的温度。
有8个控温区,保温材料厚实,加热元件对称分布,使得温度均匀性能优于±5°C。其主要优点是有8个独立的控温区,使得均温区可以延长。另外,控温能十分精确,可实现线性升温、峰值或其他温度场。AZ管式炉的典型应用是化学气相沉积。化学气相沉积需要有温度梯度,物质在温度较高的一端气化并在温度较低的一端冷却沉积在一片基底层上。所有的控温区都由各个热电偶独立控温和监测温度。
标准参数
- 结构同FHA / FHC管式炉
- 8区控温,满足不同温度场的需求
- 在加热区间内能形成温度梯度,线性升温 / 降温
- 扩大均温区长度
- 快速升温和冷却
- 全自动运行
- 数据记录,用于质量管理
- 设定值中继控温方式