真空渗碳技术又称低压渗碳技术，是在低压(一般压力为0-30 mbar)真空状态下，采用脉冲方式，向高温炉内通入渗碳介质——高纯乙炔进行快速渗碳的过程。
真空渗碳是将工件装入真空炉中,抽真空并加热,使炉内净化，达到渗碳温度后通入碳氢化合物（如丙烷等）进行渗碳，经过一定时间后切断渗碳剂，再抽真空或充入氮气进行扩散，并进行渗碳，扩散的循环操作。通过脉冲方式真空渗碳，可使盲孔和小孔获得均匀渗碳层。真空渗碳可实现高温快速渗碳（1050℃),极大的缩短渗碳时间，提高生产效率。
真空渗碳炉
真空渗碳炉是新型节能周期作业式热处理电炉。渗碳炉是新型节能周期作业式电炉。炉温均匀性及空炉升温时间等指标是真空炉加热性能的主要体现。这些指标主要由真空渗碳炉的核心部件加热室的结构所决定，其设计是否合理直接影响炉子的使用性能和产品的生产效率。西格马生产的渗碳炉具有同炉次工件渗层均匀一致，渗层中无内氧化，无疲劳源产生，极大的提高了零件使用寿命。
真空离子渗碳炉
在真空容器中，利用放电使渗碳气体电离，所产生的碳离子在电场作用下轰击炉料表面进行渗碳的热处理炉。
真空渗碳炉特点：
1、加热元件沿加热室圆周均匀布置，温度均匀性高；
2、加热室和冷却室分开，生产效率高、使用成本低；
3、冷却均匀性好，工件变形小；
4、渗碳气体喷嘴沿加热室圆周均匀布置，渗碳层厚度均匀；
5、具有控温精度高,温场均衡、升降温度速率快、表面温度低、能耗低超温报警并断电保护，操作安全可靠。温控系统采用厦门宇电30段程序控温系统，PID方式调节温度，可以设置30段升降温程序，具有软启动、软关断、可控硅移相调压控制，0~98%输出可调节，面板上各种仪表开关等有相应的中文标牌等。 操作安全、方便、快捷。
6、采用独立的超温保护、超压、超流、漏电、短路等保护，自动化程度较高，各项指标达到了水平。
SGM真空渗碳炉技术参数：
| 有效工作区mm | 装炉量Kg | 加热功率 kw | 额定温度℃ | 炉温均匀性℃ | 极限真空度 pa |
| 600*400*410 | 100/150 | 60 | 1200℃、 1300℃、 1400℃ | ±5 | 4.0×10﹣¹ 6.7×10﹣³ |
| 750*500*510 | 250/300 | 80 | |||
| 900*600*610 | 400/500 | 120 | |||
| 1200*800*820 | 800/1000 | 220 | |||
| 1500*1500*820 | 3500/4000 | 300 |
