概要
EC-5000系列产品是由一套排气压力控制器所组成，此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。
特征
- 适合高真空环境使用：不锈钢质本体
- 抗腐蚀
- 使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本体也可以提供
- 适合对于腐蚀性气体的使用
当排气端流量被调整到的位置：
- 抗蚀剂是以一层均匀的薄膜方式分布的
- 阻止了喷雾的次级沉积
- 阻止了危险水蒸气的扩散
此外，与流量传感器控制方式相比较而言，因抗蚀剂和其他污染物堆积对本产品造成的影响更小
此产品属于受日本法律管制的出口品（列于控制清单之上）。在从日本出口到海外或者供应给非日本企业前，必需从日本经济产业省的相关部门获得出口许可证件。
規格
Model EC- | 5104 | 5105 | 5202 | |||||||||||||||
Compatible size | NW40 | NW50 | 25 mm PTFE fitting | 1 inch PTFE fitting | ||||||||||||||
Materials at gas contact area | SUS316L, Fluoro rubber | PTFE, PEEK, Fluoro rubber | ||||||||||||||||
Conductance | 0.4 to 80L/s | 0.6 to 200L/s | —— | |||||||||||||||
Outflow at 100 mm H2O | 20L/min | 25L/min | 3L/min | |||||||||||||||
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产品相关图及其它
