xps-7半导体材料气体

型号

XPS-7

检测原理

定电位电解式

检测气体对象

半导体材料气体及臭氧等

指示范围

根据要求

分辨率

、硅烷氯、气氨气等0.1ppm,磷烷0.01ppm

指示精度

按气体不同精度有所不同

报警模式

2段报警方式

报警方式

蜂鸣器(间歇音)、报警灯闪烁

应答时间

60秒以内(60%应答)

电源

5号碱性干电池4节或AC专用变压器

电池使用时间

连续12小时以上

外型尺寸

W762×H150×D128(除去突起物)

检测方式

泵吸式

使用温度范围

0℃～40℃

重量

约1.3kg

附件

肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸两张

选购件

AC专用变压器、传感器专用通电台、数据收集配套元件

XPS-7对象气体一览表

型号

气体

F.S

型号

气体

F.S

型号

气体

F.S

XPS-7NH

NH₃

100ppm

XPS-7GH

GeH₄

1ppm

XPS-7HS

H₂S

50ppm

XPS-7SH

SiH₄

25ppm

XPS-7CL

CL₂

5ppm

XPS-7CO

CO

250ppm

XPS-7DC

SiHCL₃

25ppm

XPS-7CF

CLF₃

1ppm

XPS-7DS

Si₂H₆

25ppm

XPS-7AS

AsH₃

250ppb

XPS-7HC

HCL

25ppm

XPS-7F2

F₂

5ppm

XPS-7PH

PH₃

1ppm

XPS-7HF

HF

1ppm

XPS-7OZ

O₃

1ppm

XPS-7BH

B₂H₆

500ppb

XPS-7HF

BF3

1PPM

XPS-7NO

NO

100ppm

XPS-7SE

H₂Se

250ppb

XPS-7HB

HBr

10ppm