VOC废气处理设备常见的产生等离子体的方法是气体放电，所谓气体放电是指通过某种机制使一电子从气体原子或分子中电离出来，形成的气体媒质称为电离气体，如果电离气由外电场产生并形成传导电流，这种现象称为气体放电。根据放电产生的机理、气体的压j源性质以及电极的几何形状、气体放电等离子体主要分为以下几种形式：①辉光放电；③介质阻挡放电；④射频放电；⑤微波放电。无论哪一种形式产生的等离子体，都需要高压放电。容易打火产生危险。由于对诸如气态污染物的治理，一般要求在常压下进行。
VOC废气处理设备等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
特点：
① 能解决大气污染，改善作业环境空气质量。
② 运行程序化、智能化，可连续运行或间断式运行。
③ 不产生臭氧，对呼吸系统无刺激；对管道及设备无腐蚀性，并对仪器仪表有保护作用。
④ 设备可依附于通风系统上，不需要占用很大的空间。
⑤ 操作维护简单，零配件更换方便，无需专人值守。
⑥ 主要设备和部件*，设备寿命长（离子管使用寿命2万小时以上，主体设备使用年限15年以上）。
适用场所：
① 食品加工业（用于水产、肉禽、蔬菜等食品加工车间，冷藏室等）。
主要功能： 降低空气中粉尘浓度；消除孢子、细菌病毒、异味。
② 污水、垃圾处理厂等市政行业（用于污水厂、污水泵站、污泥堆场、粪便处理场等）
主要功能：去除有害气体；消除悬浮物及有害气体、异味；减少灰尘、杀灭病毒。
③ 室内空气净化（用于饭店、机场、车站、游轮、客房、商店、展览馆、火车站、体育馆等）。
主要功能：减少空气中可吸入颗粒物；防止细菌侵害及交叉感染；提高室内空气的离子浓度。
④ 化学工业的静电、除尘（用于化学工业、电脑机房、造纸工业、电子工业、印刷业等）。
主要功能：减少空气中的灰尘；消除静电、异味、挥发性有机溶剂。
