LCD系列表面清洁分析仪为美国科诺研制的行业性分析仪器,可在分析测试水滴在液晶屏、晶圆(Wafer)、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基础上,进而分析Plasma效果,是一种基于界面化学分析系统的表面清洁度测试系统。
本系列表面清洁度分析仪由仪器主机和CAST™2.0水滴角分析软件两个部分组成。根据样品台移动方式不同,我们将仪器主机分为自动(LCD1000A)、手动(LCD1000M)两种。样品台尺寸及其控制行程可根据客户要求定制。我们为广大客户提供性能,合理的仪器以及化的表面清洁度分析仪产品,期盼为客户的研发与品质控制提供的服务保证。
功能实现:
1、测试前:
(1)通过调整进样器前后、左右、上下移动(XYZ)及镜头俯仰角度和升降(Z向),实现调整焦距的目的。
(2)通过控制导轨前后、左右移动(XY),将注射泵移动至角落后,以方便装样。
2、测试过程中:
(1)通过导轨前后、左右方向(XY)的移动控制,实现样品上不同点的水滴角度值的测试;
(2)通过移动进样器升降移动(Z向),完成液滴移液过程(将水液滴转移到液晶屏上);
(3)通过进样器注出液滴,进行角度分析,精度可达0.02uL。
3、测试实现方法:
(1)通过相机捕捉液滴在液晶屏上的图片后,分析敏感点,计算得出角度值;
(2)计算办法:θ/2法(WH法)或圆拟合法;
(3)软件对镜头的俯视角度进行适当的修正,以期实现更精确的测量。
功能实现:
1、测试前:
(1)通过调整进样器前后、左右、上下移动(XYZ)及镜头俯仰角度和升降(Z向),实现调整焦距的目的。
(2)通过控制导轨前后、左右移动(XY),将注射泵移动至角落后,以方便装样。
2、测试过程中:
(1)通过导轨前后、左右方向(XY)的移动控制,实现样品上不同点的水滴角度值的测试;
(2)通过移动进样器升降移动(Z向),完成液滴移液过程(将水液滴转移到液晶屏上);
(3)通过进样器注出液滴,进行角度分析,精度可达0.02uL。
3、测试实现方法:
(1)通过相机捕捉液滴在液晶屏上的图片后,分析敏感点,计算得出角度值;
(2)计算办法:θ/2法(WH法)或圆拟合法;
(3)软件对镜头的俯视角度进行适当的修正,以期实现更精确的测量。